三軸精密運動平臺

• 一般環境使用,無塵環境使用

• 一款三軸精密大理石運動平臺，XY軸采用十字疊層結構，可選配R軸用于角度調整，配備高性能直線電機，滿足高精密定位需求；Z軸配備精密滾柱導軌，承重大、精度高、剛性好；底座選用高品質大理石，保證運行平面度達到000級，另可選配光柵尺編碼反饋，精度更加有保障。用于半導體檢測晶圓的調整，光學檢測，視覺定位等應用場景

• 產品參數

  XY軸重復定位精度：±2μm
  XY軸定位精度：5μm
  有效行程：300mm
  最高速度：500mm/s
  直線度：6μm/500mm
  最大負載：5kg

  Tips：絲桿直線模組行程超過750mm時，會產生螺桿偏擺，此時請將降低速度，詳情參數及選型建議咨詢業務人員。