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精密運動平臺定做廠家

Wafer & Precision Instrument Motion Stage

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  • 大理石運動平臺
  • 大理石三軸運動平臺

大理石三軸運動平臺

  • 一般環境使用
  • 高精密大理石三軸運動平臺,XY軸采用標準直線電機,具有較高的組裝靈活性及較高的性價比;Z軸采用高精密研磨滾珠絲杠,提供較大的垂直負載能力和足夠的定位精度,支持光柵尺和控制系統非標定制。用于各類精密激光焊接、切割、檢測和測量等應用場景。

  • 產品參數

    重復定位精度:±5μm
    定位精度:8μm
    有效行程:100 - 500mm
    最高速度:300mm/s
    最大負載:8kg

    Tips:絲桿直線模組行程超過750mm時,會產生螺桿偏擺,此時請將降低速度,詳情參數及選型建議咨詢業務人員。

運動平臺特點

  • 微米級重復定位精度;

  • 性價比優勢明顯;

  • 組裝行程靈活;

  • 直線電機驅動,大理石基座支撐;

  • 可選光柵尺編碼反饋和電氣控制系統。


運動平臺參數

 規格 \ 軸向 X軸Y軸Z軸
重復定位精度±5μm±5μm±6μm
定位精度8μm8μm15μm
有效行程100 - 500mm100 - 500mm100 - 300mm
最高速度300mm/s300mm/s200mm/s
平面度00級
最大加速度0.5G1G
最大負載8kg

注意:以上參數僅做為選型參數使用,最終參數以出廠產品為準。以上定位精度在實驗環境下激光干涉儀補償后測得。


運動平臺圖片

大理石三軸運動平臺

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