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Wafer & Precision Instrument Motion Stage
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唐先生(直線模組)18024904984
周先生(精密平臺)
激光實驗平臺配置可根據具體需求有所不同，除了激光器和控制系統外，主要還有高精密工作臺，執行單元可采用高精密的直驅電機，大理石底座提供穩定可靠的基礎。XY軸十字疊層三片式結構，帶旋轉功能。底軸寬度約是上軸長度的2/3，可防止重心不穩定。配備自潤滑的精密滾柱導軌，具有精度高、剛性好等特點。R軸轉臺結構扁平薄，可360度旋轉用于角度調整。
重復定位精度：±1μm
定位精度：3μm
有效行程：100 - 350mm
最高速度：300mm/s
直線度：6μm / 500mm
最大負載：10kg
Tips：絲桿直線模組行程超過750mm時，會產生螺桿偏擺，此時請將降低速度，詳情參數及選型建議咨詢業務人員。
激光實驗平臺屬于高精密運動平臺，通常用作高精密激光雕刻、切割等生產制造，根據用戶需求配置大有不同，通常使用大理石框架和直驅電機，配合光柵尺精密反饋，更多激光實驗平臺方案請咨詢。
高精度的直驅結構；
中型寬度，高剛度設計；
光柵尺閉環反饋；
R軸角度定位；
定制高加速度；
可選配防塵罩裝置。
| 規格 軸向 | X軸 | Y軸 | R軸 |
| 重復定位精度 | ±1μm | ±1μm | ±5 arc sec |
| 定位精度 | 3μm | 3μm | 30 arc sec |
| 有效行程 | 100 - 350mm | 100 - 600mm | - |
| 最高速度 | 300mm/s | - | |
| 直線度 | 6μm / 500mm | - | |
| 行走平面度 | 000級 | - | |
| 加速度 | 0.5G | - | |
| 最大負載 | 10kg | - | |
| 光柵尺分辨率 | 0.1μm | - | |
注意：以上參數僅做為選型參數使用，最終參數以出廠產品為準。以上定位精度在實驗環境下激光干涉儀補償后測得。
本文關鍵詞： 精密運動平臺
