三軸大理石運動平臺

• 一般環境使用,無塵環境使用

• 一款直驅三軸精密大理石運動臺，XY軸十字疊層三片式結構，配備自潤滑的精密滾柱導軌，承重大、精度高、剛性好等特點，R軸轉臺結構扁平薄，可360度旋轉，采用光柵閉環反饋和防塵設計。用于晶圓切割、激光加工、測試測量、電子元件組裝及檢驗等領域。

• 產品參數

  重復定位精度：±1μm
  定位精度：3μm
  有效行程：100 - 350mm
  最高速度：300mm/s
  直線度：6μm / 500mm
  最大負載：10kg

  Tips：絲桿直線模組行程超過750mm時，會產生螺桿偏擺，此時請將降低速度，詳情參數及選型建議咨詢業務人員。