XY氣浮運動平臺

• 一般環境使用,無塵環境使用

• 一款XY平面式氣浮平臺，雙驅橫梁均采用空氣導軌的 H 橋式結構。采用有限元分析優化的氣浮軸承補償設計技術，提高精度的同時，也提高動態性能?？梢愿鶕蛻粜枨笈渲?、行程、負載、特殊結構等進行評估定制。用于不同尺寸和工藝的晶圓檢測及其他高精密檢測應用場景。

• 產品參數

  有效行程：300mm x 300mm
  定位精度：0.3μm
  雙向重復定位精度：±0.1μm
  最高速度：1000mm/s
  直線度：2μm / 300mm
  平面度：000級
  最大水平負載：50kg

  Tips：絲桿直線模組行程超過750mm時，會產生螺桿偏擺，此時請將降低速度，詳情參數及選型建議咨詢業務人員。