
氣浮導軌,超高性能精度;
平面式氣浮,減小系統誤差影響;
300mm行程直線度≤2μm;
龍門式雙驅結構,承載能力強;
可選光柵或激光尺位置反饋。
| 規格 \ 型號 | LEIZ-QF-XY-300 |
| 有效行程 | 300mm x 300mm |
| 定位精度 | 0.3μm |
| 雙向重復定位精度 | ±0.1μm |
| 最高速度 | 1000mm/s |
| 直線度 | 2μm / 300mm |
| 平面度 | 000級 |
| 電子分辨率 | 1nm |
| 最大加速度 | 20m/s2 |
| 最大水平負載 | 50kg |
| 俯仰/翻滾/偏擺 | 3 arc sec |
| 正交度 | 10 arc sec |
注意:
1. 以上測試數據在恒溫恒濕實驗室環境下,測試點位于中心點上方 25mm處,由線性放大器得出。
2. 以上定位精度在實驗環境下激光干涉儀補償后測得。