xy軸精密定位平臺

• 一般環境使用

• xy軸精密大理石直線電機定位平臺，采用無鐵芯直線電機和SP級交叉滾子導軌，全套雷尼紹光柵，檢測精度0.1um，多應用于晶圓檢測、電子顯微鏡平臺、LCD封裝檢測、透鏡激光3D熔覆加工等各種高精密制造檢測。

• 產品參數

  重復定位精度：±0.001mm
  絕對定位精度：±0.004mm
  XYZ三軸行程：X500mm/Y500mm/Z200mm
  非標定制產品，配置價格請咨詢！
  *絕對定位精度需通過軟件修正。

  Tips：絲桿直線模組行程超過750mm時，會產生螺桿偏擺，此時請將降低速度，詳情參數及選型建議咨詢業務人員。